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工件表面質(zhì)量的好壞直接影響其使用壽命和使用性能，隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和社會(huì)的發(fā)展，人們對(duì)于工件表面質(zhì)量的要求越來(lái)越高，表面形貌測(cè)量技術(shù)也隨之快速發(fā)展。

 

1929年，德國(guó)的G．Schmaltz先對(duì)表面微觀不平度的參數(shù)進(jìn)行了定量的測(cè)量，隨后出現(xiàn)了一些基于機(jī)械和光學(xué)方法實(shí)現(xiàn)信號(hào)轉(zhuǎn)換的表面特征記錄儀器。

 

1936年，美國(guó)的E J．Abbott研制成功*臺(tái)車(chē)間用的測(cè)置表面粗糙度的輪廓儀。

 

1940年，英國(guó)Taylor -Hobson公司研制成功了觸針式表面輪廓測(cè)量?jī)xTalysurf。

 

1970年，Meadows提出了基于光學(xué)條紋圖分析原理的測(cè)量技術(shù)，通過(guò)提取條紋圖中的相位信息，從而獲取物體表面形貌。表面測(cè)量技術(shù)的發(fā)展過(guò)程由zui初的機(jī)械觸針接觸式測(cè)量發(fā)展到光學(xué)非接觸測(cè)量，由觸針逐點(diǎn)測(cè)量發(fā)展到光學(xué)多采樣點(diǎn)測(cè)量。

 

1982年，Binning和Rohrer研制成功了世界上*臺(tái)掃描隧道顯微鏡（STM）。STM基于量子隧道效應(yīng)，通過(guò)檢測(cè)隧道電流來(lái)獲取表面形貌，具有高的測(cè)量分辨率，能觀察到物質(zhì)表面排列的單個(gè)原子。

 

1986年，Binning、Quate等人在STM的基礎(chǔ)上發(fā)明了原子力顯微鏡(AFM)。AFM的出現(xiàn)，使觀察物質(zhì)表面的原子形態(tài)和排布成為可能，在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)上有著十分重大的意義。

 

目前，表面形貌測(cè)量方法中，機(jī)械觸針式測(cè)量、顯微干涉測(cè)量和SPM技術(shù)在科學(xué)研究和工業(yè)域應(yīng)用。這三種方法都能達(dá)到較高的測(cè)量分辨率和精度，而且均有性能較好的商用儀器被開(kāi)發(fā)出來(lái)。

 

中圖儀器推出的SJ5701粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器；采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能測(cè)力系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面粗糙度和輪廓進(jìn)行測(cè)量和分析。

 

SJ5701粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x主要技術(shù)指標(biāo)：

粗糙度測(cè)量：

測(cè)量范圍：X軸200mm，Z1軸±80µm /±40µm /±20µm；

示值誤差：±5%；

分辨率：Z1軸0.04µm(±80µm), 0.02µm(±40µm), 0.01µm(±20µm)。

輪廓測(cè)量：

X軸：

測(cè)量范圍：0～200mm；

示值誤差：±(0.8+2L/100)um，其中L為水平測(cè)量長(zhǎng)度，單位：mm；

分辨率：0.01um。

傳感器Z1軸：

測(cè)量范圍：±25mm；

示值誤差：±(1.6+|2H|/100)um，其中H為垂直測(cè)量高度，單位：mm；

分辨率：0.01um。