SEMICON China震撼開幕，匯專攜半導(dǎo)體行業(yè)超聲高效加工方案驚艷亮相

時間：2025-4-1 閱讀：79

　　3月26日，SEMICON China 2025在上海新國際博覽中心盛大開幕，來自海內(nèi)外的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)齊聚一堂，共話產(chǎn)業(yè)發(fā)展。本屆展會展覽面積達(dá)10萬平方米，設(shè)有5000個展位，開展首日就迎來7萬多名專業(yè)觀眾。

　　匯專也攜【半導(dǎo)體行業(yè)超聲高效加工方案】重磅亮相本屆展會，展位精彩紛呈，吸引國內(nèi)外眾多客戶及同行駐足體驗和交流。

01.獎項贊助攜手主辦方挖掘行業(yè)新星

　　匯專作為“SEMICON China 2025 產(chǎn)品創(chuàng)新獎”活動支持單位，出席了Gala頒獎典禮，與行業(yè)朋友們共同見證十家優(yōu)勝企業(yè)的榮耀時刻。

頒獎典禮

　　02. 匠心研發(fā) 推出系列創(chuàng)新產(chǎn)品

　　本屆展會，在T3330展位上，匯專超聲機床、超聲刀柄、精密刀柄、超硬刀具等多款創(chuàng)新產(chǎn)品悉數(shù)登場，現(xiàn)場還設(shè)置了超聲振動體驗區(qū)、微孔放大觀察區(qū)等互動區(qū)域，以便觀眾直觀了解匯專技術(shù)及加工優(yōu)勢。

　　匯專專注超聲綠色數(shù)控機床及關(guān)鍵部件的研制已超過二十年，系列超聲綠色數(shù)控機床針對硬脆材料、復(fù)合材料及難加工金屬材料具有的加工優(yōu)勢，可實現(xiàn)上述材料零件不同加工形式的高效、高質(zhì)、環(huán)保、低成本加工。

　　
本次展出的超聲雕銑加工中心UEM-500配置匯專自主研發(fā)的智能化超聲加工系統(tǒng)，超聲電主軸最高轉(zhuǎn)速40,000rpm，定位精度可達(dá)5μm，重復(fù)定位精度可達(dá)3μm，能夠有效滿足硬脆材料的高光、微小孔超聲加工需求，幫助客戶提升加工效率、降低設(shè)備成本，并帶來更出色的加工效果。

除了超聲機床，超聲刀柄、精密刀柄、超硬刀具等多款高性能工具也獲得了眾多咨詢。

03.超聲方案突破行業(yè)加工痛點

　　在半導(dǎo)體行業(yè)，匯專持續(xù)為全球半導(dǎo)體廠商提供專業(yè)超聲數(shù)控機床設(shè)備及創(chuàng)新解決方案，這些設(shè)備被應(yīng)用于芯片制造流程中的沉積、刻蝕、離子注入、封測等多個環(huán)節(jié)的關(guān)鍵功能部件加工，幫助客戶在生產(chǎn)制造過程中提質(zhì)增效，解決了眾多傳統(tǒng)機床無法加工的難題。

　　以單晶硅噴淋盤鉆孔加工為例，單晶硅作為硬脆材料，加工過程容易產(chǎn)生崩缺，同時該工件孔深徑比高達(dá)55:1，加工難度非常大。使用超聲雕銑加工中心UEM-500，搭配超聲加工技術(shù)及整體PCD微鉆，可連續(xù)加工超過1,000個D0.45x24.75mm的超深微孔(深徑比 55:1)；盲孔加工，入口處目視無崩缺；孔真圓度達(dá)0.003mm；孔壁粗糙度從Sa6.54μm降低至0.013μm，降低99.8%。

　　
此外，在多晶硅柵極環(huán)加工案例中，采用傳統(tǒng)加工方式進(jìn)行加工，加工效率低，且加工時槽口容易崩缺，導(dǎo)致產(chǎn)品報廢率高。匯專方案使用超聲雕銑加工中心UEM-800，搭配超聲加工技術(shù)和科益展DDR立式高速轉(zhuǎn)臺，順利地解決了客戶的加工難題。加工過程中，超聲輔助加工更穩(wěn)定，切削阻力低，提高了加工效率。同時，還降低了工件表面的粗糙度，減少崩缺和裂紋，并有效提升內(nèi)圓真圓度。