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SEMICON China震撼開幕,匯專攜半導(dǎo)體行業(yè)超聲高效加工方案驚艷亮相

時間:2025-4-1 閱讀:79
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  3月26日,SEMICON China 2025在上海新國際博覽中心盛大開幕,來自海內(nèi)外的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)齊聚一堂,共話產(chǎn)業(yè)發(fā)展。本屆展會展覽面積達(dá)10萬平方米,設(shè)有5000個展位,開展首日就迎來7萬多名專業(yè)觀眾。
 
  匯專也攜【半導(dǎo)體行業(yè)超聲高效加工方案】重磅亮相本屆展會,展位精彩紛呈,吸引國內(nèi)外眾多客戶及同行駐足體驗和交流。
 
 

        01.
獎項贊助 攜手主辦方挖掘行業(yè)新星
 
  匯專作為“SEMICON China 2025 產(chǎn)品創(chuàng)新獎”活動支持單位,出席了Gala頒獎典禮,與行業(yè)朋友們共同見證十家優(yōu)勝企業(yè)的榮耀時刻。
 
頒獎典禮
 
  02. 匠心研發(fā) 推出系列創(chuàng)新產(chǎn)品
 
  本屆展會,在T3330展位上,匯專超聲機床、超聲刀柄、精密刀柄、超硬刀具等多款創(chuàng)新產(chǎn)品悉數(shù)登場,現(xiàn)場還設(shè)置了超聲振動體驗區(qū)、微孔放大觀察區(qū)等互動區(qū)域,以便觀眾直觀了解匯專技術(shù)及加工優(yōu)勢。
 
  匯專專注超聲綠色數(shù)控機床及關(guān)鍵部件的研制已超過二十年,系列超聲綠色數(shù)控機床針對硬脆材料、復(fù)合材料及難加工金屬材料具有的加工優(yōu)勢,可實現(xiàn)上述材料零件不同加工形式的高效、高質(zhì)、環(huán)保、低成本加工。
 
  
        本次展出的超聲雕銑加工中心UEM-500配置匯專自主研發(fā)的智能化超聲加工系統(tǒng),超聲電主軸最高轉(zhuǎn)速40,000rpm,定位精度可達(dá)5μm,重復(fù)定位精度可達(dá)3μm,能夠有效滿足硬脆材料的高光、微小孔超聲加工需求,幫助客戶提升加工效率、降低設(shè)備成本,并帶來更出色的加工效果。
 

         除了超聲機床,超聲刀柄、精密刀柄、超硬刀具等多款高性能工具也獲得了眾多咨詢。
 
 
       03.超聲方案 突破行業(yè)加工痛點
 
  在半導(dǎo)體行業(yè),匯專持續(xù)為全球半導(dǎo)體廠商提供專業(yè)超聲數(shù)控機床設(shè)備及創(chuàng)新解決方案,這些設(shè)備被應(yīng)用于芯片制造流程中的沉積、刻蝕、離子注入、封測等多個環(huán)節(jié)的關(guān)鍵功能部件加工,幫助客戶在生產(chǎn)制造過程中提質(zhì)增效,解決了眾多傳統(tǒng)機床無法加工的難題。
 
  以單晶硅噴淋盤鉆孔加工為例,單晶硅作為硬脆材料,加工過程容易產(chǎn)生崩缺,同時該工件孔深徑比高達(dá)55:1,加工難度非常大。使用超聲雕銑加工中心UEM-500,搭配超聲加工技術(shù)及整體PCD微鉆,可連續(xù)加工超過1,000個D0.45x24.75mm的超深微孔(深徑比 55:1);盲孔加工,入口處目視無崩缺;孔真圓度達(dá)0.003mm;孔壁粗糙度從Sa6.54μm降低至0.013μm,降低99.8%。
 
  
        此外,在多晶硅柵極環(huán)加工案例中,采用傳統(tǒng)加工方式進(jìn)行加工,加工效率低,且加工時槽口容易崩缺,導(dǎo)致產(chǎn)品報廢率高。匯專方案使用超聲雕銑加工中心UEM-800,搭配超聲加工技術(shù)和科益展DDR立式高速轉(zhuǎn)臺,順利地解決了客戶的加工難題。加工過程中,超聲輔助加工更穩(wěn)定,切削阻力低,提高了加工效率。同時,還降低了工件表面的粗糙度,減少崩缺和裂紋,并有效提升內(nèi)圓真圓度。
 

        04.蒞臨展位 參與互動贏好禮
 
  展會期間,匯專展位還舉行了“55.1秒速大挑戰(zhàn)  贏取華為MatePad”等互動游戲,吸引眾多觀眾參與,現(xiàn)場互動氣氛十分熱烈。
 

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