在精密光學(xué)、半導(dǎo)體測試/制造、激光加工、平板顯示器制造等行業(yè)中。通常需要多自由度的精密運動。當(dāng)需要處理大的表面時，所涉及的定位平臺的平面度規(guī)格(垂直偏差)特別重要，例如，為了減少離焦誤差。

　　什么是平面XY平臺？

　　堆疊式、集成式和平面式平臺設(shè)計之間的差異經(jīng)常被用戶誤解。根據(jù)定義，平面XY載物臺或XY工作臺使用X軸和Y軸移動的公共參考平面。真正的平面運動不適用于交叉滾子軸承——它們用于堆疊集成設(shè)計。

　　堆疊、集成和平面XY載物臺

　　XY運動可以通過疊加兩個行程或類型相近的直線平臺來實現(xiàn)(根據(jù)應(yīng)用要求也可以不同)。這種模塊化設(shè)計提供了靈活性。缺點-對于長行程-行程結(jié)束時平面度誤差和俯仰/滾動誤差增加，這是由于缺乏對上軸底部的支撐造成的。

　　龍門XY平臺(直角坐標(biāo)機器人平臺)

　　龍門XY平臺是堆疊平臺設(shè)計的另一種形式。當(dāng)需要覆蓋重載的長XY移動距離，或者從上方掃描或加工固定工件時，通常使用龍門XY運動系統(tǒng)。需要具有特殊臺架控制算法的運動控制器來獲得性能并避免束縛。龍門XY運動系統(tǒng)有很多種，通常建立在花崗巖基座上，以提供超高的穩(wěn)定性和精度，通常用于激光加工、成像和計量應(yīng)用。

　　集成XY平臺(通常誤稱為平面XY平臺)可以制造成具有低輪廓，因為中心板既用作下軸的移動頂板又用作上軸的移動底板。一體式XY平臺通常具有正方形的占地面積，更寬的支座底座減少了上述由懸臂效應(yīng)引起的幾何誤差。就像堆疊的線性平臺一樣，它們確實停留在它們的中間位置范圍內(nèi)。

　　同類型軸承(交叉滾子軸承、循環(huán)滾珠軸承等。)和驅(qū)動機構(gòu)(絲杠、滾珠絲杠、直線電機)可用于堆疊式直線平臺。

　　如果XY工作臺占用區(qū)域之外的移動是不可接受的和/或需要的幾何性能，可以使用平面XY工作臺。平面XY平臺通?；诳諝廨S承、磁懸浮或(在短行程范圍內(nèi)非常流行的)柔性導(dǎo)軌。XY工作臺提供的幾何性能，要求高精度的應(yīng)用，例如半導(dǎo)體晶片檢測中的常見應(yīng)用。

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