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碳化硅晶圓表面打磨，用中西6萬轉(zhuǎn)自動換刀浮動主軸
碳化硅晶圓表面打磨拋光，機械臂加裝中西NAKANISHI自動換刀浮動主軸NR3060-AQC，功率350W，轉(zhuǎn)速6萬轉(zhuǎn)每分鐘，旋轉(zhuǎn)跳動精度1μm以內(nèi)，搭配浮動刀把，可實現(xiàn)徑向軸向雙向打磨。
如圖所示，碳化硅晶圓表面打磨，用人工去除效率低，成本高，若采用自動化方式，一能節(jié)省成本，二能提高產(chǎn)品的良品率。這款3060AQC自動換刀浮動主軸是目前在機械臂去毛刺領(lǐng)域比較受歡迎的浮動打磨主軸。
3060AQC自動換刀主軸，除了可以實現(xiàn)氣動換刀之外，還可以實現(xiàn)徑向、軸向雙向浮動，浮動力可調(diào)節(jié)，可防止過度打磨的情況發(fā)生，有利于保持產(chǎn)品良好的光潔度。
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