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詳細介紹
特點
- 依據(jù)SEMI Standard標(biāo)準(zhǔn)(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
- 校準(zhǔn)器設(shè)有緩沖器功能, 使晶圓的更換成為可能, 實現(xiàn)了高吞吐量 (400片/h)
- 搬運機械手采用路徑規(guī)劃方式, 無行走軸, 支持并列配置盒
- 搬運機械手進行區(qū)域控制, 能夠順暢而快速地進行搬運
- 配備ID閱讀器, 可以進行晶圓的ID讀取 (表里支持為選購件)
可實現(xiàn)400片/小時產(chǎn)率的高性能晶圓搬運系統(tǒng)，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設(shè)計生產(chǎn)的高性能大氣機械手臂和校準(zhǔn)器
應(yīng)用設(shè)備實例
半導(dǎo)體生產(chǎn)線
規(guī)格
| 對應(yīng)片盒 | 300 mm FOUP（25片） |
|---|---|
| SEMI E47.1，E62標(biāo)準(zhǔn)品 | |
| 對應(yīng)晶圓 | 300 mm 硅片（厚度：775 µm） |
| Throughput* | 400片/h |
| 潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（FFU使用） |
| 外形尺寸* | W1756xD1200xH1901 |
| 重量* | 大約 600 kg |
| 廠務(wù) | 電源：AC200V±15% 20A |
| 干燥空氣：0.7 MPa to 0.4 MPa | |
| 真空：優(yōu)于-60 kPa |
*測試機型：4 FOUP對向擺放 400片/h
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