1.反向越沖

反向越沖的產生，是由于當機床某一個軸向某一方向驅動，然后必須向相反方向反向移動時，該軸驅動電機施加的扭矩不夠，造成在換向處由于摩擦力的方向發(fā)生改變而出現(xiàn)短時的粘性停頓。反向越沖將使圓弧插補刀具軌跡出現(xiàn)一個小平臺后再向原軌跡復位的臺階。在圖形上表現(xiàn)為：在某軸上有一小尖峰，尖峰大小隨機床進給率的不同而變化。

2.反向間隙

當機床某一軸出現(xiàn)絲杠磨損、螺母損壞或導軌磨損等情況時，會導致滾珠絲杠中扭曲過大而引起反向間隙。反向間隙在球桿儀檢測圖形中表現(xiàn)為：在沿某軸線處有沿圖形中心外凸(正值)或內凹(負值)的一個或數個臺階，其大小通常不受機床進給率的影響。

3.伺服不匹配

如果用球桿儀檢測圓度誤差時診斷出伺服不匹配，表明機床的一根軸超前于另一軸。根據不同被測軸間的關系，伺服不匹配可能為正，也可能為負。以XY平面為例，若為正值,則說明Y軸超前于X軸,為負值則相反。超前軸的增益較高。

4.比例不匹配

比例不匹配誤差是指在測試中被測量軸間的行程差，例如，機床在XY平面內運行一個圓周，理論上X軸和Y軸運行的距離應*相同。如果有不同，兩軸間運動位置差就是比例不匹配誤差。如果給出比例不匹配的值為正值，那么X軸移動距離超過Y軸。否則相反。

5.垂直度

垂直度誤差是因為被測試機床的X軸和Y軸相互間不為90度，兩軸可能有局部彎曲或機床軸可能整體未調直、機床軸可能剛性不夠導致某些部位不直、或者機床導軌可能過分磨損導致機床在運動時軸中有一定間隙。