本司主要做的激光焊接設(shè)備：應(yīng)用的激光器主要為：光纖激光器，YAG激光器。
光纖激光器從應(yīng)用的場景主要分為：標(biāo)準(zhǔn)四軸激光焊接機，機器人激光焊接機，手持激光焊接機，非標(biāo)定制等。
YAG激光器從應(yīng)用場景主要分為：標(biāo)準(zhǔn)四軸工作臺激光焊接機，機器人激光焊接機，手動激光焊接機，非標(biāo)定制等。
光纖激光器和YAG激光器的應(yīng)用場景基本一樣，主要是焊接的產(chǎn)品的要求效果有較大的差別。
光纖激光器焊接速度快（20---30MM/S），功率大（500W---6000W），深寬比大（焊接材料的厚度0.5---5MM），適用于常規(guī)焊縫的縫焊拉焊的場合，可焊接碳鋼，不銹鋼，鍍鋅板，銅，鋁等常見材料。
YAG激光器，焊接速度較慢（8—10mm/S），功率較?。?span>200W—600W），焊接的材料的厚度（0.2—1.2mm）適用于薄板的縫焊，穿透焊，點焊，熱影響小，焊接精準(zhǔn)。
半導(dǎo)體晶圓載具激光焊接設(shè)備技術(shù)深度解析
半導(dǎo)體晶圓載具作為芯片制造過程中的關(guān)鍵承載部件，其制造工藝直接關(guān)系到晶圓生產(chǎn)的良率和設(shè)備穩(wěn)定性。以下是針對半導(dǎo)體晶圓載具激光焊接技術(shù)的全面分析：
一、核心技術(shù)指標(biāo)
潔凈度控制
顆?？刂疲盒铦M足ISO Class 1標(biāo)準(zhǔn)（≥0.1μm顆?！?個/m3）
金屬污染：Na、K等元素含量＜1E10 atoms/cm2（通過ICP-MS檢測）
尺寸穩(wěn)定性
熱變形量：ΔL/L＜1ppm/℃（150℃環(huán)境下）
平面度：≤0.005mm/200mm（晶圓接觸區(qū)域）
材料特性
靜電控制：表面電阻1E6-1E9Ω（防靜電要求）
釋氣率：TML＜0.1%，CVCM＜0.01%（NASA標(biāo)準(zhǔn)）
二、焊接工藝
超潔凈激光焊接系統(tǒng)
配置HEPA過濾系統(tǒng)（U15等級）
集成在線等離子清洗模塊
局部環(huán)境控制（氧含量＜10ppm）
特種焊接技術(shù)
真空激光焊（10??P）
低溫激光焊（基板溫度＜80℃）
納米銀燒結(jié)（用于異種材料連接）
過程監(jiān)控系統(tǒng)
實時熔池監(jiān)測（高速CCD 10000fps）
光譜分析（等離子體監(jiān)測）
熱像儀溫度場控制（±2℃精度）
三、材料解決方案
| 材料組合 | 工藝難點 | 創(chuàng)新方案 |
|---|---|---|
| CFRP-PEEK | 碳纖維暴露 | 激光參數(shù)梯度控制 |
| AlN-不銹鋼 | CTE失配 | 納米結(jié)構(gòu)中間層 |
| 石英玻璃-金屬 | 脆性斷裂 | 超短脈沖（ps級） |
四、質(zhì)量驗證體系
破壞性測試
高溫高濕測試（120℃/85%RH/1000h）
化學(xué)耐受性（DHF/SC1/SC2浸泡）
機械疲勞（＞1E6次循環(huán)）
非破壞檢測
同步輻射CT（亞微米缺陷識別）
太赫茲波檢測（多層結(jié)構(gòu)分析）
原子力顯微鏡（表面形貌3D重建）
五、技術(shù)進(jìn)展
智能焊接系統(tǒng)
基于深度學(xué)習(xí)的工藝參數(shù)優(yōu)化
數(shù)字孿生實時仿真
自適應(yīng)路徑規(guī)劃（誤差補償＜5μm）
新型材料應(yīng)用
碳化硅陶瓷載具激光連接
石墨烯增強復(fù)合材料焊接
超疏水表面一體化成型
六、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用案例
EUV光刻載具
材料：低膨脹玻璃陶瓷
工藝：飛秒激光焊接
成果：熱變形＜0.3nm/cm
3D NAND多層載具
創(chuàng)新點：Z向50層精密連接
技術(shù)：激光誘導(dǎo)自蔓延焊接
良率提升：98.5%→99.99%
七、技術(shù)發(fā)展趨勢
原子級制造融合
激光分子束外延
選區(qū)原子沉積
量子點精準(zhǔn)排布
綠色制造
無鎘焊料開發(fā)
能耗降低30%的新光源
廢料回收率＞99.9%
設(shè)備配置表
1.光源系統(tǒng)：采用連續(xù)激光器（光纖激光器）
2.運動系統(tǒng)：配備三軸伺服（松下）運動控制外加定制化工裝夾具
3.激光聚焦系統(tǒng)：萬順興雙擺焊接頭
4.冷卻系統(tǒng)：搭配了博鼎3.0P雙溫雙控冷卻水機
5.其他輔助系統(tǒng)：焊接檢測系統(tǒng).（實時檢測焊接效果）、能量檢測系統(tǒng)(實時檢測能量波動)、激光校準(zhǔn)系統(tǒng)：（校準(zhǔn)激光焦距）
設(shè)備優(yōu)勢：
1.速度是YAG（脈沖焊機）激光焊接的4-10倍
2.10:1的焊接深寬比，焊點光滑美觀，焊縫強度韌性相當(dāng)甚至超過母體材料
3.電光轉(zhuǎn)換率高，能耗低
4.設(shè)備穩(wěn)定，可連續(xù)24小時工作
5.相對于YAG（脈沖焊機），定制成客戶要求的機型更容易。
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體晶圓載具激光焊接設(shè)備適合焊接金銀鈦鎳錫銅鋁等金屬及其合金材料，可實現(xiàn)同種金屬和異種金屬間的精密焊接，已廣泛應(yīng)用于航空設(shè)備，船舶制造.儀器儀表，機電產(chǎn)品，汽車制造，新能源電池，鈑金箱體，衛(wèi)浴，廚具，家用電器，汽車配件，燈飾，機械，數(shù)碼產(chǎn)品等方面
服務(wù)體系
售前服務(wù)體系：
1.免費質(zhì)詢有關(guān)激光焊接任何方面的問題、免費提供焊接打樣和專業(yè)的焊接工藝講解。
2.針對各種行業(yè)我們提供完整的自動化激光應(yīng)用解決方案
3.行業(yè)專用配套激光設(shè)備的非標(biāo)定制
4.提供專業(yè)的激光焊接應(yīng)用解決方案設(shè)備免費保修一年，終身維護免費技術(shù)咨詢、軟件升級等服務(wù)
5.提供定期檢修服務(wù)，檢查機器的運行情況以技術(shù)為源以產(chǎn)品為本實現(xiàn)客戶終身價值
售后服務(wù)體系:
1.售后服務(wù)網(wǎng)點遍布各地。
2.客戶響應(yīng)時間2小時內(nèi)，到達(dá)維修現(xiàn)場不超過48小時。
3.技術(shù)維修服務(wù)人員均具有3年以上的實踐經(jīng)驗。
4.設(shè)備免費保修一年。
5.終身維護免費技術(shù)咨詢。
6.軟件升級等服務(wù)。
7.提供定期檢修服務(wù)，檢查機器的運行情況以技術(shù)為源以產(chǎn)品為本實現(xiàn)客戶終身價值
