威固特涂布濾光片超聲波清洗機(jī)

一、威固特VGT-1209FH超聲波清洗機(jī)清洗涂布濾光片的優(yōu)勢及適用雜質(zhì)：

該機(jī)型專為精密光學(xué)元件（如濾光片）設(shè)計，在清洗涂布濾光片時具有如下突出優(yōu)勢：

1、高頻超聲波（120KHZ）精準(zhǔn)清洗：

高頻空化效應(yīng)更溫和，適合硬質(zhì)涂層濾光片（如SiO?/TiO?多層膜），避免低頻（40KHz）的機(jī)械沖擊風(fēng)險。

可有效清除亞微米級顆粒（0.1-1μm），減少表面劃傷。

2、智能恒溫控制系統(tǒng)（20-60℃可調(diào)）：

避免清洗液溫度波動導(dǎo)致濾光片熱應(yīng)力損傷（如膠合層開膠）。

高溫（40-50℃）可提升對油脂類污染物的清洗效率。

3、多段式掃頻技術(shù)：

自動切換頻率（±5KHz波動），防止駐波效應(yīng)造成的清洗不均勻。

特別適合大尺寸濾光片（如直徑＞50mm）的全覆蓋清洗。

4、定制化夾具與清洗籃：

濾光片可傾斜固定，避免邊緣因超聲波聚焦導(dǎo)致涂層剝落。

尼龍鍍膜籃筐減少碰撞摩擦，保護(hù)增透膜。

適用的清洗雜質(zhì)類型：

1、顆粒污染物：

拋光粉殘留（二氧化鈰、三氧化二鋁顆粒，粒徑0.5-5μm）。

環(huán)境粉塵（硅基顆粒、碳纖維碎屑）。

靜電吸附顆粒（金屬粉塵、PVD鍍膜飛濺物）。

2、有機(jī)污染物：

指紋與皮脂（主要成分為甘油三酯、脂肪酸）。

切削液/防銹油（礦物油、合成酯類）。

膠帶殘膠（丙烯酸膠、硅膠）。

3、無機(jī)污染物：

輕微氧化層（如金屬膜濾光片表面的自然氧化鋁）。

工藝殘留鹽類（如鍍膜前的清洗劑殘留鈉離子/鉀離子）。

二、威固特VGT-1209FH超聲波清洗機(jī)核心結(jié)構(gòu)組成與功能：

清洗槽：

設(shè)計特點(diǎn)：

1、316L不銹鋼材質(zhì)。

2、斜面底部設(shè)計+泄流閥。

對涂布濾光片清洗的增益：防止顆粒沉積，便于排出納米級污染物，斜面減少聲波反射。

恒溫系統(tǒng)：

設(shè)計特點(diǎn)：

1、PID控溫（20-60℃±1℃）。

2、外接冷卻循環(huán)水接口。

對涂布濾光片清洗的增益：防止溫度驟變導(dǎo)致涂布濾光片熱應(yīng)力裂紋。

過濾循環(huán)：

設(shè)計特點(diǎn)：5μm精密過濾器+磁力泵循環(huán)。

對涂布濾光片清洗的增益：實(shí)時去除剝離的顆粒污染物，防止二次吸附。

控制系統(tǒng)：

設(shè)計特點(diǎn)：

1、觸摸屏編制（可存儲10組參數(shù)）。

2、過載保護(hù)/缺液報警。

對涂布濾光片清洗的增益：一鍵調(diào)用不同濾光片清洗方案。

三、威固特VGT-1209FH超聲波清洗機(jī)針對各類濾光片清洗的特殊結(jié)構(gòu)優(yōu)化：

1、聲場均勻性設(shè)計：

底部多振子布局：6組壓電陶瓷換能器呈蜂窩狀排列，確保槽內(nèi)聲強(qiáng)偏差<15%（行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通常>30%）。

應(yīng)用場景：大尺寸濾光片（如8英寸晶圓級濾光片）全覆蓋清洗。

2、防碰撞保護(hù)機(jī)制：

懸浮式籃筐：尼龍網(wǎng)籃通過彈簧懸掛，減少濾光片與槽壁碰撞風(fēng)險。

案例適配：脆性濾光片（如氟化鎂涂層）的批量化清洗。

3、雜質(zhì)隔離系統(tǒng)：

雙層排水結(jié)構(gòu)：粗顆粒沉降至下層隔離倉，納米顆粒通過側(cè)壁過濾器截留。

數(shù)據(jù)支持：實(shí)則可減少90%以上的污染物回附（對比傳統(tǒng)單層槽體）。