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JL-200SCG/300SCG晶陶/晶圓加工機(jī)

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更新時(shí)間:2021-06-22 17:09:07瀏覽次數(shù):397次

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一般晶圓背磨製程所要求的高平坦度與表面粗糙度,唯有氣浮式主軸搭配鑽石砂輪加工吸附於氣浮式工作臺(tái)上的晶圓才能達(dá)成。.應(yīng)用範(fàn)圍 晶陶加工機(jī)可應(yīng)用於晶圓、陶瓷、石英、玻璃、寶石等研磨。 機(jī)器特性?huà)?cǎi)內(nèi)藏式馬達(dá)氣靜壓主軸--迴轉(zhuǎn)精度0.1m。氣靜壓旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)--迴轉(zhuǎn)精度0.1m。進(jìn)給解析度0.1m,Z軸Feed rate 1-10m/min ??焖退俣葹?50mm/min。先進(jìn)功能強(qiáng)大的FANUCOi全數(shù)位控制系統(tǒng)。項(xiàng)目機(jī)型JL- 200 SCG大研磨面積工件直徑O 200 mm主 軸型式氣靜壓主軸主......
一般晶圓背磨製程所要求的高平坦度與表面粗糙度,唯有氣浮式主軸搭配鑽石砂輪加工吸附於氣浮式工作臺(tái)上的晶圓才能達(dá)成。.
 
應(yīng)用範(fàn)圍
 
晶陶加工機(jī)可應(yīng)用於晶圓、陶瓷、石英、玻璃、寶石等研磨。
 
 
機(jī)器特性
 
採(cǎi)內(nèi)藏式馬達(dá)氣靜壓主軸--迴轉(zhuǎn)精度0.1μm。
氣靜壓旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)--迴轉(zhuǎn)精度0.1μm。
進(jìn)給解析度0.1μm,Z軸Feed rate 1-10μm/min 。
快送速度為250mm/min。先進(jìn)功能強(qiáng)大的FANUCOi全數(shù)位控制系統(tǒng)。
 

項(xiàng)目 機(jī)型 JL- 200 SCG
大研磨面積 工件直徑 O 200 mm
主 軸 型式 氣靜壓主軸
主軸數(shù) 1
功率 3.7 kw
轉(zhuǎn)數(shù) 1000-5000 rpm
* O 200(mm) 鑽石砂輪
Z 軸 行程 120 mm
進(jìn)給解析度 0.1 μ m
快速進(jìn)給 205 mm/min
工 作 臺(tái) 型式 氣靜壓
工作臺(tái)數(shù) 1
轉(zhuǎn)數(shù) 0-500 rpm
厚 度 規(guī) 量測(cè)範(fàn)圍 0-1000 μ m
解析度 0.1 μ m
重現(xiàn)精度 ± 0.5 μ m
重 量 機(jī)器重量 2000 kg
尺 寸 機(jī)器作業(yè)空間 700(W)x1700(D)x2100(H) mm)
加 工 精 度 平行度 1.5 μ m
厚度公差 ± 3 μ m
表面粗度 Ry 0.15 μ m
     
標(biāo)準(zhǔn)附件: 
特殊附件:
 
鑽石砂輪 精密級(jí)空氣乾燥機(jī)  
法蘭 高度規(guī)  
陶瓷真空吸盤(pán)    
主軸溫度控制器    
真空幫浦    
工具箱及工具    
     

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