特色：
中國臺灣自行研發(fā)製造的高精度氣靜壓研磨主軸，採用非接觸式氣靜承科技，相較於傳統(tǒng)的滾珠軸承主軸，具有高運動精度、低振動、高剛性、低噪音、低阻尼及高潔淨度等優(yōu)勢。面對半導(dǎo)體的高精度加工需求，本氣靜壓研磨主軸在長時間精度維持、重現(xiàn)性保持、低熱變位有著優(yōu)秀表現(xiàn)。本公司亦提供客製化服務(wù)以滿足客戶的各式應(yīng)用。

應(yīng)用：
適用於矽晶圓、藍寶石基板、GaAs/GaN晶圓、SiC晶圓研磨減薄加工。

優(yōu)點：
- 空氣靜承(Aerostatic Bearing) 科技
- 提供8吋跟12吋兩種尺寸選擇
- 可提供客製化砂輪盤介面
- 內(nèi)藏式永磁同步馬達科技
- 可選配中心出水功能
- 高精密迴轉(zhuǎn)精度(Low Error-Motion)
- 高剛性/高承載力設(shè)計結(jié)構(gòu)
- 迴轉(zhuǎn)速度變動量小